1.主要用作有机反应催化剂，如酯化、烷基化、聚合、异构化、磺化、硝化等。铸镁及合金时的防氧化剂。是制备卤化硼、元素硼、硼烷、硼氢化钠等的主要原料。还用于电子工业等。
2.高纯三氟化硼是电子、光纤工业的重要原材料之一，是半导体工艺中的重要掺杂源。在焊接镁材时用作焊剂，BF3能防止镁及其合金在熔融铸造时发生氧化作用，也可作钢或其他金属表面硼化处理剂的组分，还用作铸钢的润滑剂。BF3还可作为合成有机硼化物的原料，在许多有机反应和石油制品中，作为聚合、烷基化和冷凝反应的催化剂，BF3及化合物在环氧树脂中用作固化剂。可作为制备光纤预制件的原料。
3. 主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。